沈阳打造产业链用心提升“芯”动能

沈阳，作为与北京、上海两地并列的国内集成电路装备产业三大重点地区，集成电路产业集群企业正形成蓬勃发展之势，为城市提升竞争力持续输送“芯”动能。

日前，上市公司沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称“芯源微”)对外发布2021年年报。年报显示，芯源微2021年实现营收达8.29亿元，同比增长151.95%。其中，扣非归母净利润为6383.9万元，同比增长395.85%，创造了企业发展史上的新纪录。创新是支撑企业发展的核心驱动力。2021年，芯源微在研发方面投入经费9249.96万元，同比增长103.68%。企业在前道涂胶显影领域已经具备快速实现国产替代的技术实力，并在集成电路装备后道封装领域成功开发出了叠层封装设备，部分技术已领先国际知名企业。

2021年，沈阳市集成电路装备产业产值40亿元，同比增长70%。亮眼的数字，刻下“沈阳制造”的每一步；飞跃的速度，传递出高质量发展的积极信号。

“产业集群的发展，更多企业的壮大是关键。”沈阳市工信局相关负责人指出，除了芯源微，还有不少企业是沈阳集成电路装备产业链条中的佼佼者。

据统计，沈阳市现有IC装备企业18家，其中整机企业7家，配套企业11家。芯源微电子、沈阳富创精密、沈阳拓荆科技、沈阳科仪等4家代表性企业2021年增速超50%，产值均超过5亿元。过去几年里，沈阳拓荆科技、沈阳芯源微电子、沈阳富创精密等企业承担了一批国家重大科技专项和国家重大技术攻关项目，在薄膜沉积设备、陶瓷层喷涂和沉积技术、涂胶显影设备、真空干泵设备等领域进入国际赛道争夺技术制高点。芯源微电子于2019年在科创板上市，拓荆科技于近期科创板IPO注册获批，富创精密等企业也在积极准备科创板上市。同时，沈阳市早在2004年成立了全国第一个IC装备制造业产业基地，2010年被科技部认定为“国家集成电路装备国信技术产业化基地”，建成5个IC装备领域的国家工程(技术)研究中心、工程实验室，与北京、上海构成我国IC装备产业发展三大重点地区。

2021年，结合沈阳集成电路装备企业资金需求量大、需求方式多样等特点，沈阳聚焦金融支撑，创新投资方式，出台《沈阳市集成电路产业发展政策》。政策主要从技术改造和贷款贴息两方面对集成电路装备、材料、制造、封测企业给予支持。“立足产业基础，瞄准发展前沿。2022年我们将不断完善工作机制，坚持承接和培育相结合，发挥重大项目牵引作用。同时，聚焦政策引导，出台产业发展政策细则，全流程支撑企业发展。”市工信局相关负责人表示。

沈阳日报、沈报全媒体记者黄超

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